Компания idonus предлагает инновационную систему УФ фотолитографии, в основе которой лежит использование светодиодов высокой мощности и микролинзовой камеры высокого качества производства Швейцарии.
Система разработана для экспонирования фоторезиста и подходит для пластин различного размера и формы. Качество модуля засветки обеспечивает высокую однородность критических размеров и углов боковых стенок по всей поверхности. Наша система гарантирует идеально стабильное качество засветки фоторезиста, т.е. высокую равномерность и малые углы расхождения пучка по всей поверхности, благодаря телецентрической оптике.
Современные достижения в области светодиодной технологий позволяют использовать ультрафиолетовую светодиодную засветку, которая имеет больше преимуществ, чем стандартная на основе ртутных источников:
Возможно изготовление системы освещения по индивидуальному заказу в полном соответствии с вашими требованиями. Возможна интеграция системы в вашу установку экспонирования с заменой ртутной лампы.
Разрешение |
0,5 мкм |
Оптическая мощность |
от 20 до 200 мВт/см2 |
Площадь экспонирования |
от 50х50 до 300х300 мм2 |
Оптическая неоднородность излучения |
±2% |
Макс. угол расхождения пучка |
±1.5° до 3° |
Длина волны |
365 / 385 / 405 нм |
Полуширина спектра |
12 нм |
Размер системы |
65×30×30 см3 |
Потребление электроэнергии |
20 до 1200 Вт |
Различные примеры конфигураций установки экспонирования указаны в таблице ниже. Система может работать с различными длинами волн и обеспечивает аналогичные характеристики экспонирования как в системах с ртутными источниками. Система может быть разработана под ваши технические требования.
Тип системы |
А |
Б |
В |
Разрешение, мкм |
2 |
1 |
1 |
Оптическая мощность, мВт/см2 |
42 |
152 |
165 |
Площадь экспонирования, мм2 |
80х80 |
100х100 |
300х300 |
Оптическая неоднородность излучения, % |
±2 |
±2 |
±2 |
Макс. угол расхождения пучка |
±2.5° |
±1.5° |
±1.5° |
Длина волны, нм |
405 |
365 |
385 |
Полуширина спектра, нм |
12 |
12 |
12 |
Размер системы, см |
65x30x30 |
65x30x30 |
1100x60x60 |
Потребление электроэнергии, Вт |
20 |
180 |
1200 |